韻申科技：硅碳負(fù)極CVD反應(yīng)裝置供應(yīng)商
韻申科技成立于2012年，公司總部及研發(fā)中心位于上海，技術(shù)和研發(fā)實(shí)力雄厚，是國(guó)家“高新技術(shù)企業(yè)”、上海市科技型“小巨人”企業(yè)、上海市“專(zhuān)精特新”企業(yè)。
公司專(zhuān)業(yè)服務(wù)于中國(guó)高速發(fā)展的新能源材料、半導(dǎo)體材料、半導(dǎo)體工程等新興高科技產(chǎn)業(yè)，致力于為其提供“高溫度、高潔凈、高集成”的硅基關(guān)鍵產(chǎn)品，為泛半導(dǎo)體（新能源（光伏、鋰電池）、平板顯示、光纖、集成電路）行業(yè)提供關(guān)鍵高純?cè)牧辖鉀Q方案。產(chǎn)品涵蓋硅基CVD核心反應(yīng)器、高溫晶體爐及高純硅基特氣&硅基前驅(qū)體材料系統(tǒng)集成一站式工程解決方案，是一家集研發(fā)、設(shè)計(jì)、制造為一體的綜合性科技公司。
公司在江蘇鎮(zhèn)江設(shè)立制造基地，占地100畝，擁有萬(wàn)級(jí)、千級(jí)和百級(jí)潔凈室共1000㎡，十萬(wàn)級(jí)潔凈區(qū)10000㎡。制造基地配備18MΩ電阻值超純水間，擁有氧分析儀、水分析儀、顆粒檢測(cè)儀、氦檢儀等檢測(cè)設(shè)備，滿足客戶極低泄漏及水氧測(cè)試要求。致力于為高純硅原料、晶圓廠、LED光纖、電子材料及精細(xì)化工等領(lǐng)域提供核心設(shè)備及超高純流體系統(tǒng)工程解決方案，系統(tǒng)解決方案涵蓋設(shè)計(jì)、選型、制造、安裝和測(cè)試等服務(wù)。
硅碳負(fù)極CVD反應(yīng)裝置示意圖
該業(yè)務(wù)服務(wù)范圍：CVD反應(yīng)器裝置
CVD設(shè)備設(shè)計(jì)/CVD設(shè)備制造/CVD系統(tǒng)設(shè)計(jì)/CVD系統(tǒng)制造
規(guī)劃設(shè)計(jì)：產(chǎn)能規(guī)模、工藝路線、園區(qū)屬性、地域選址
原料裝置：硅烷路線、碳源路線、氮?dú)饴肪€、多孔碳路線
尾氣處理：實(shí)驗(yàn)尾氣、中試尾氣、量產(chǎn)尾氣、回收尾氣
安裝調(diào)試：氣站EPC、現(xiàn)場(chǎng)CVD系統(tǒng)、電儀自控系統(tǒng)
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